真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，真空电镀，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，波丽产品真空电镀，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。
真空电镀主要包括真空蒸镀、溅射镀和离子镀几种类型。
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